หลักการทำงานของ Rotary Vane VacuumPump
Vacuum Pump จะประกอบด้วยตัวปั๊ม (pump housing) และโรเตอร์ (rotor) ซึ่งถูกติดตั้งให้เยื้องจุดศูนย์กลางโดยที่โรเตอร์จะมีร่องสำหรับให้แผ่นกวาดอากาศ (vane) วิ่งเข้าออกด้วยแรงเหวี่ยงหนีศูนย์กลาง (centifugal force) ในขณะที่โรเตอร์หมุนนั้นอากาศจะถูกดูดเข้ามาที่ทางเข้า (inlet) และจะถูกอัดออกในขณะที่ใบกวาดอากาศ (vane) เคลื่อนที่หมุนไปพร้อมกับโรเตอร์และกวาดอากาศออกมาที่ช่องทางออก (outlet) อากาศจะถูกอัดออกไปในถังน้ำมัน (oil tank) ภายใน oil tank จะติดตั้งชุดดักจับไอน้ำมัน (oil separator) เพื่อทำหน้าที่แยกไอน้ำมันออกจากอากาศ โดยไอน้ำมันจะถูกชุด oil separator ดักจับไว้ส่วนอากาศจะถูกอัดออกไป น้ำมันที่ถูก oil separator ดักจับไว้จะตกลงสู่ถังน้ำมันด้านนอกและไหลเวียนกลับเข้าสู้ตัว vacuum pump อีกครั้งโดยน้ำมัน vacuum pump ทำหน้าที่ในการหล่อลื่นชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่, ระบายความร้อน, เป็นฟิล์มบางๆช่วยทำให้ค่าสุญญากาศดีขึ้น